截至8月22日收盘，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨6.99%，成分股盛美上海涨停，京仪装备上涨14.39%，中芯国际上涨14.19%，芯源微，富创精密等个股跟涨。科创半导体ETF上涨7.02%，最新价报1.22元。

　　盘面上，A股主要指数今日集体走高，沪指突破3800点续创十年新高；DeepSeek v3.1发布，AI芯片、半导体及存储芯片板块爆发，寒武纪、盛美上海及海光信息等多股20%涨停。

　　值得注意的是，科创半导体ETF尾盘持续溢价，买盘活跃，体现资金信心。

　　公开信息显示，科创半导体ETF及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备和半导体材料细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。