半导体设备板块早盘冲高回落,截至午间收盘,中证半导体材料设备主题指数下跌1.1%,中证芯片产业指数下跌2.6%,上证科创板芯片指数下跌2.6%,上证科创板芯片设计主题指数下跌4.0%。同花顺iFinD数据显示,半导体设备ETF易方达半日获6.63亿份净申购。