11月21日，珂玛科技在互动平台表示，超高纯碳化硅套件主要应用于半导体氧化扩散设备中，是半导体设备零部件国产替代重要产品之一，目前公司已有产品通过客户验证并取得订单，多项验证工作有序推进中。