截至收盘，中证半导体材料设备主题指数上涨0.7%，中证芯片产业指数上涨0.1%，中证云计算与大数据主题指数下跌1.1%。据Wind数据，截至昨日，半导体设备ETF易方达连续3日获资金净流入，合计超3600万元。