最新规模为101.45亿元。

　　中证半导体材料设备主题指数聚焦半导体制造上游核心环节，覆盖半导体设备、半导体材料等细分领域龙头，半导体设备ETF易方达紧密跟踪该指数，助力投资者把握产业链发展机遇。