三星电子已开始开发“智能传感系统”，旨在提高产量并改变半导体工厂的运营方式。该系统主要用于实时监控和分析生产过程，目前可以自动处理等离子体均匀性。三星最终计划到2030年使其芯片工厂无需人工操作，实现完全自动化。